Многе компоненте силицијум нитрида захтевају густе низове прецизних рупа од 0,5 мм, као што су полупроводничке вакуумске стезне главе, плоче за вођење картице сонде, плоче за дистрибуцију течности, керамички филтери и супстрати енергетске електронике. Типични распореди низа, укључујући шеме рупа од 49 × 49 или 50 × 50, комбинују висок капацитет протока са довољном механичком чврстоћом.
Бушење стотина или чак хиљада прецизних рупа у силицијум нитриду је далеко изазовније од једноставног прављења кроз{0}}рупе. Стабилна производња захтева одличну контролу топлоте, тачности и конзистентности процеса.
Четири изазоваПрецизно бушење рупа од силицијум нитрида
1. Топлотни напон у низовима густих рупа
Током непрекидног ласерског бушења, топлота се акумулира око суседних рупа. Силицијум нитрид не расипа топлоту тако ефикасно као метали, чинећи низове густих рупа подложнијим локализованом топлотном стресу.
Без оптимизоване контроле процеса, прекомерна топлота може да доведе до микро-пукотина, посебно када дебљина зида између суседних рупа постане веома мала.
2. Контрола конуса рупа
Конвенционално{0}}ласерско бушење са једним пролазом често производи конусне рупе, где је улазни пречник већи од пречника излаза.
За апликације које укључују вакуумску адсорпцију, контролу течности или полупроводничке алате, прекомерна конусност може да смањи функционалне перформансе и конзистентност.
Израда скоро равних зидова рупа стога постаје важан циљ током прецизног ласерског бушења.
3. Рецаст Лаиер и Дебрис Ремовал
Ласерско бушење испарава керамички материјал, стварајући растопљене честице и остатке унутар рупе.
Ако се ови остаци не уклоне ефикасно, могу да остану причвршћени за зид рупе, што утиче на квалитет површине и повећава захтеве за накнадном{0}}обрадом.
Одговарајућа помоћ при гасу и оптимизоване стратегије бушења помажу у побољшању чистоће рупе док се секундарна завршна обрада минимизира.
4. Прецизност позиционирања у великим низовима
Обрада стотина или хиљада рупа на једној керамичкој плочи захтева одличну поновљивост позиционирања.
Чак и мала одступања позиционирања могу се акумулирати током дугих циклуса обраде, смањујући укупну конзистентност великих низова рупа.
За апликације полупроводника и прецизне керамике, одржавање стабилне позиционе тачности на целом радном комаду је често важније од саме брзине бушења.
ВХИЦ ласерско решење за прецизну производњу рупа од 0,5 мм
ВХИЦ Ласер је развио керамичка ласерска решења за бушење посебно за прецизне рупе са силицијум нитридом.
Наша стратегија обраде комбинује оптимизоване ласерске параметре са прецизном контролом кретања како би се побољшао квалитет бушења и стабилност производње.
Више{0}}степено ласерско бушење
Уместо уклањања целог материјала у једној операцији, процес бушења се завршава кроз више контролисаних фаза, смањујући термички стрес уз побољшање геометрије рупе.
Оптимизована гасна помоћ
Систем за помоћни гас под високим{0}}притиском непрекидно уклања остатке током бушења, помажући да се добију чистији зидови рупа и смањујући потребу за секундарним чишћењем.
Високо{0}}прецизна платформа за кретање
Чврста конструкција машина, технологија линеарних мотора и системи за позиционирање у затвореној{0}}петљи обезбеђују стабилну прецизност за велике низове рупа током продужених производних циклуса.
Процесни пакети за типичне низове рупа
ВХИЦ Ласер нуди оптимизоване процесне пакете за уобичајене конфигурације низа рупа од силицијум нитрида, помажући купцима да скрате време развоја процеса и убрзају производњу.
Данас је прецизна обрада рупа од 0,5 мм постала једна од њихЗрела производна решења ВХИЦ Ласера, подржавајући и купце опреме и пројекте производње по уговору.
Типичне апликације
ИЦЛасер'срешења се широко примењују на компоненте силицијум нитрида и за прототипне узорке и за делове масовне{0}}производње; ласерско бушење пружа флексибилну,-ефикасну обраду за напредну производњу керамике.
Избор правогЛасерски систем за бушење силицијум нитрида
Када бирају решење за ласерско бушење, произвођачи треба да процене величину рупе која је већа од минималне.
Важна разматрања укључују:
>>Стабилност производње
>>Конзистентност рупа
>>Контрола термичког оштећења
>>Конус рупа
>>Прецизност положаја
>>Поновљивост процеса
>>Техничка подршка и искуство у примени
Поуздан систем ласерског бушења би требало да доследно даје{0}}квалитетне резултате производње уместо да се фокусира само на лабораторијске перформансе.
Закључак
Ласерско бушење на силицијум нитриду је захтеван процес који захтева пажљиву контролу термичких ефеката, геометрије рупа и тачности позиционирања.
Контактирајте ВХИЦ Ласер да разговарате о пројекту ласерског бушења силицијум нитрида или затражите процену узорка за прецизну обраду керамичких рупа. (бесплатно тестирање узорка)
